TY  - JOUR

T1  - Vertical tracks on the sidewall of a silicon die using 3D holographic photolithography

JO  - J MICROMECH MICROENG

PY  - 2011/01/01

AU  - Toriz-Garcia JJ

AU  - Williams GL

AU  - McWilliam R

AU  - Seed NL

AU  - Purvis A

AU  - Soulard FB

AU  - Cowling JJ

AU  - Ivey PA

ED  - 

DO  - DOI: 10.1088/0960-1317/21/8/085034

VL  - 21

IS  - 8

Y2  - 2024/12/22

ER  -