TY  - CONF

T1  - Dry etching and surface passivation techniques for type-II InAs/GaSb superlattice infrared detectors

JO  - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

PY  - 2010/01/01

AU  - Tan SL

AU  - Goh YL

AU  - Das SD

AU  - Zhang S

AU  - Tan CH

AU  - David JPR

AU  - Gautam N

AU  - Kim H

AU  - Plis E

AU  - Krishna S

ED  - 

DO  - DOI: 10.1117/12.864787

SN  - 9780819483560

VL  - 7838

Y2  - 2024/12/20

ER  -