TY - GEN T1 - Fabrication of ultra-smooth, high-aspect ratio, sub-10 nanometer nanostructures T2 - arXiv PY - 2025/01/28 AU - Scott JA AU - Zotev PG AU - Sortino L AU - Wang Y AU - Akande A AU - Wood ML AU - Tartakovskii AI AU - Toth M AU - Palomba S ED - DO - DOI: 10.48550/arxiv.2501.17352 Y2 - 2025/03/10 ER -