TY - CONF T1 - RF-plasma source qualification and compositional characterisation of GaNAs superlattices using SIMS JO - APPLIED SURFACE SCIENCE PY - 2006/07/30 AU - Mulcahy CPA AU - Barker SJ AU - Williams RS AU - Hopkinson M AU - Ashwin M AU - Stavrinou PN AU - Parry G AU - Biswass S AU - Jones TS ED - DO - DOI: 10.1016/j.apsusc.2006.02.141 VL - 252 IS - 19 SP - 7218 EP - 7220 Y2 - 2024/12/22 ER -