TY - JOUR T1 - Fabrication and Operation of a Microcavity Plasma Array Device for Microscale Surface Modification JO - Plasma Processes and Polymers UR - http://dx.doi.org/10.1002/ppap.201100166 PY - 2012/03/05 AU - Al-Bataineh SA AU - Szili EJ AU - Gruner PJ AU - Priest C AU - Griesser HJ AU - Voelcker NH AU - Short RD AU - Steele DA ED - DO - DOI: 10.1002/ppap.201100166 PB - Wiley VL - 9 IS - 7 SP - 638 EP - 646 Y2 - 2024/12/22 ER -