TY  - JOUR

T1  - Electron energy loss spectroscopy of nano-scale CrAlYN/CrN-CrAlY(O)N/Cr(O)N multilayer coatings deposited by unbalanced magnetron sputtering

JO  - THIN SOLID FILMS

PY  - 2010/07/01

AU  - Ross IM

AU  - Rainforth WM

AU  - Seabourne CR

AU  - Scott AJ

AU  - Wang P

AU  - Mendis BG

AU  - Bleloch AL

AU  - Reinhard C

AU  - Hovsepian PE

ED  - 

DO  - DOI: 10.1016/j.tsf.2010.03.012

VL  - 518

IS  - 18

SP  - 5121

EP  - 5127

Y2  - 2024/12/21

ER  -