TY - JOUR T1 - P-type delta doping in silicon MBE JO - Thin Solid Films PY - 1990/01/01 AU - Mattey NL AU - Hopkinson M AU - Houghton RF AU - Dowsett MG AU - McPhail DS AU - Whall TE AU - Parker EHC AU - Booker GR AU - Whitehurst J ED - DO - DOI: 10.1016/0040-6090(90)90392-Q VL - 184 IS - 1-2 SP - 15 EP - 19 Y2 - 2024/12/22 ER -