TY  - CONF

T1  - PZT films for micro-pumps

JO  - INTEGRATED FERROELECTRICS

PY  - 1995/01/01

AU  - Brooks K

AU  - Damjanovic D

AU  - Kholkin A

AU  - Reaney I

AU  - Setter N

AU  - Luginbuhl P

AU  - Racine GA

AU  - DeRooij NF

AU  - Saaman A

ED  - 

DO  - DOI: 10.1080/10584589508012296

VL  - 8

IS  - 1-2

SP  - 13

EP  - 23

Y2  - 2024/10/23

ER  -