TY - JOUR T1 - Sub-5 nm graphene nanopore fabrication by nitrogen ion etching induced by a low-energy electron beam JO - Nanotechnology PY - 2016/05/13 AU - Fox DS AU - Maguire P AU - Zhou Y AU - Rodenburg C AU - O’Neill A AU - Coleman JN AU - Zhang H ED - DO - DOI: 10.1088/0957-4484/27/19/195302 VL - 27 IS - 19 Y2 - 2024/12/21 ER -