TY  - JOUR

T1  - Pb(Zr,Ti)O3 thin films on zirconium membranes for micromechanical applications

JO  - Applied Physics Letters

PY  - 1996/01/01

AU  - Maeder T

AU  - Muralt P

AU  - Sagalowicz L

AU  - Reaney I

AU  - Kohli M

AU  - Kholkin A

AU  - Setter N

ED  - 

DO  - DOI: 10.1063/1.116529

VL  - 68

IS  - 6

SP  - 776

EP  - 778

Y2  - 2024/12/22

ER  -