TY - JOUR T1 - Elemental distributions and substrate rotation in industrial TiAlN/VN superlattice hard PVD coatings JO - SURF COAT TECH PY - 2004/05/24 AU - Zhou Z AU - Rainforth WM AU - Rother B AU - Ehiasarian AP AU - Hovsepian PE AU - Munz WD ED - DO - DOI: 10.1016/j.surfcoat.2003.09.060 VL - 183 IS - 2-3 SP - 275 EP - 282 Y2 - 2024/12/22 ER -